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GSL-1100X-PJF-A等離子表面處理儀

GSL-1100X-PJF-A等離子表面處理儀

簡(jiǎn)要描述:GSL-1100X-PJF-A是等離子槍和可控制的樣品臺(tái)結(jié)合在一起的產(chǎn)品,有自動(dòng)控制的樣品臺(tái),就可使等離子槍按設(shè)定程序?qū)悠繁砻孢M(jìn)行更均勻涂覆和處理,保證處理樣品表面的*性和均勻性。此系統(tǒng)是由RF發(fā)生器、氣體傳輸管、等離子槍頭和X-Y移動(dòng)的工作臺(tái)(帶有真空吸盤(pán)和控制盒)。此系統(tǒng)產(chǎn)生等離子束可在非真空和低溫狀態(tài)下活化和清洗樣品表面,可處理的樣品有單晶片,光學(xué)元件和塑料等,也可在常壓下進(jìn)行等離子增強(qiáng)

產(chǎn)品型號(hào):

所屬分類:等離子清洗機(jī)

更新時(shí)間:2024-11-05

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

詳情介紹

 性能指標(biāo)和基本配置


主要參數(shù)

GSL-1100X-PJF-A等離子表面處理儀

● 工作環(huán)境:溫度 < 42°C,濕度 ≤ 40℃RH
● 輸入電源:208 V- 240VAC, 50Hz, < 1000W
● 等離子體工作壓力

RF發(fā)生器

● 輸出頻率:20-23kHz , 25KV
● 等離子槍頭:儀器中包括兩種等離子槍頭:圓形頭:10-12mm,矩形頭:15-18mm
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輸入氣體氣壓,工作氣體

● 40 PSI min.(0.055 Mpa)
● Air, N2, Ar, He 或混合氣體(不可通入易燃易爆氣體 )

樣品臺(tái)和控制柜

● 配有可在X-Y軸移動(dòng)的樣品臺(tái),通過(guò)步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng),采用SBC控制盒控制
● 可手動(dòng)調(diào)節(jié)樣品臺(tái)在Z軸方向上的移動(dòng)距離
● 控制盒采用LCD顯示,可設(shè)置其等離子槍頭的掃描程序。
● 最大掃描范圍:8" x 9"
● 一個(gè)直徑為4"的真空吸盤(pán)安裝在X-Y樣品臺(tái)上,可吸住直徑為6"的樣品。
● 配有一真空泵,可與真空吸盤(pán)相連接
● 整個(gè)系統(tǒng)安裝在一移動(dòng)架上(600x600x 800Lmm)
● 可選:可選加熱樣品臺(tái)(最高溫度可加熱到500℃),也可將設(shè)備放置在手套箱中操作。
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外形尺寸

處理樣品臺(tái)尺寸:560mm L x483mm W x 609mm H
等離子源尺寸: 406mm L x 508mm W x 230mm H
控制盒尺寸:330mm L x 305mm W x 152mm H

凈重

55kg

文獻(xiàn)

請(qǐng)點(diǎn)擊鏈接以了解更多關(guān)于AP-PECVD應(yīng)用的信息:常壓等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(AP-PE-CVD)用于在低溫下生長(zhǎng)薄膜。

質(zhì)量認(rèn)證

所有電器元件(>24V)都通過(guò)UL/MET/CSA/CE認(rèn)證,若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。
1

保修期一年保修,終身技術(shù)支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書(shū)。

GSL-1100X-PJF-A等離子表面處理儀




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