OTF-1200X-RTP-II 近距離蒸發(fā)鍍膜(CSS)爐
簡要描述:OTF-1200X-RTP-II 近距離蒸發(fā)鍍膜(CSS)爐專門針對于用PVD或CSS法來制作薄膜。管式爐爐管直徑為11“ OD,爐管內載樣盤可放置3“ 的圓形或2“x2“的方形基片。加熱元件為兩組紅外燈管,分別安裝在腔體的頂端和底部,其升溫速率高達20ºC/S 。溫控系統(tǒng)為PID30段程序化控制,控溫精度為+/-1ºC。儀器面板上帶有RS485接口,儀表內配有控溫軟件,可將升溫程序和曲線導出。
產品型號:
所屬分類:蒸發(fā)鍍膜設備
更新時間:2024-11-05
廠商性質:生產廠家
OTF-1200X-RTP-II 3英寸近距離蒸發(fā)鍍膜儀爐
性能指標和基本配置 | |
---|---|
爐體結構&真空腔 | ● 兩個獨立的加熱裝置,兩個獨立控溫裝置及兩路浮子流量計均被精巧的設計在一個可移動的鋁合金框架上。 |
基本參數(shù) | ● 石英腔體尺寸:11"O.D×10.8"I.D×9"H mm |
加熱元件和載樣臺 | ● 由兩組紅外燈管作為加熱元件可實現(xiàn)快速加熱 |
真空法蘭 | ● 真空法蘭材質為316不銹鋼制作 |
溫控系統(tǒng) | ● 兩個數(shù)顯式溫控表都可設置30段控溫程序 |
工作溫度 | 每個加熱器最高溫度:≦600℃ |
熱電偶 | 兩個K型熱電偶分別安裝在上下法蘭上 |
可選配件 | 水冷機 |
外形尺寸 | 850(L)×745(W)×1615(H) mm |
警告 | ● 石英管密封采用真空密封,管內可處于微正壓但壓力要小于0.02MPa。 ● 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全。 ● 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態(tài),爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)。 ● 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 |
應用提示 | 相關文章: |
質量認證 | CE認證 |
保修期 | 一年保修,終身技術支持。 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 點擊查看售后服務承諾書。 |
OTF-1200X-RTP-II 3英寸近距離蒸發(fā)鍍膜儀爐
免責聲明:本站產品介紹內容(包括產品圖片、產品描述、技術參數(shù)等),僅供參考??赡苡捎诟虏患皶r,
或許導致所述內容與實際情況存在一定的差異,請與本公司客服人員聯(lián)系確認。本站提供的信息不構成任何
要約或承諾,科晶公司不定期完善和修改網站任何信息,恕不另行通知。
- 上一篇:鈣鈦礦鍍膜機
- 下一篇:GSL-1800X-ZF4 蒸發(fā)鍍膜儀