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GSL-1800X-III是一款1800℃三溫區(qū)管式爐，采用進(jìn)口 Kathal Super-1900C 硅鉬棒作為加熱元件，以氧化鋁纖維板作為爐膛材料，并且內(nèi)部嵌有氧化鋯纖維。儀器配有60*1200mm的剛玉管和一套不銹鋼法蘭，法蘭上開有dia30mm的石英窗口，以供客戶使用。
GSL-1700X-III-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機械泵，混氣系統(tǒng)為3路浮子混氣系統(tǒng)。此高溫爐燒結(jié)溫度可達(dá)1700℃，真空度可達(dá)到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。 GSL-1700X-III-F3LV 1700℃三溫區(qū)管式爐
OTF-1200X-Ⅱ-S2是一款雙溫區(qū)帶有升降雙通道進(jìn)料系統(tǒng)的共蒸發(fā)多層沉積管式爐，通過升降雙通道進(jìn)料系統(tǒng)可裝載4個不同材料的蒸發(fā)坩堝舟，并且可一次同時送入兩個蒸發(fā)坩堝源進(jìn)入管式爐中進(jìn)行共蒸發(fā)或反應(yīng)蒸發(fā)。雙溫區(qū)管式爐可以實現(xiàn)快速加熱，并且通過對各個溫區(qū)設(shè)置不同的加熱溫度可以創(chuàng)建不同的溫度梯度從而實現(xiàn)蒸發(fā)沉積。 OTF-1200X-Ⅱ-S2 1200℃多坩堝同時移動型管式爐
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